超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統(tǒng)。一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過(guò)濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過(guò)濾所產(chǎn)生的超純水。

 

　　超純水系統(tǒng)原理：

　　自來(lái)水先進(jìn)入預(yù)處理模組，經(jīng)過(guò)預(yù)處理，去除顆粒物質(zhì)和異色異味物質(zhì)等，防止RO膜被有機(jī)污垢和氯氧化物損壞。

　　之后水通過(guò)增壓泵進(jìn)入反滲透模組，反滲透模塊運(yùn)用的是艾科浦獲得DP-RO二級(jí)反滲透技術(shù)。反滲透模組有兩個(gè)出水口，純水輸出至純水箱臨時(shí)儲(chǔ)存。反滲透膜截留的離子、顆粒、有機(jī)分子和細(xì)菌通過(guò)排水管輸送到排水口。

　　取水時(shí)，輸送泵啟動(dòng)，將純水從純水箱抽吸到紫外燈中。紫外燈以185nm和254nm發(fā)光，用于降低水中有機(jī)分子和微生物的含量。然后將純水輸送到純化柱模組，去除水中離子。超濾膜和取水點(diǎn)過(guò)濾器是一個(gè)膜過(guò)濾器，用于濾除規(guī)格大于過(guò)濾器孔徑的所有粒子、細(xì)菌和細(xì)菌內(nèi)毒素。通過(guò)定期再循環(huán)產(chǎn)水，以增強(qiáng)超純水機(jī)的產(chǎn)水質(zhì)量。

　　同時(shí)，系統(tǒng)還有原水、預(yù)純化水、超純水監(jiān)控點(diǎn)，監(jiān)控這三種水的水質(zhì)，為耗材更換，設(shè)備運(yùn)行狀況提供科學(xué)的數(shù)據(jù)分析。

系統(tǒng)中預(yù)處理模組、反滲透模組、純化柱模組、紫外燈、超濾膜和取水點(diǎn)過(guò)濾器均為消耗裝置，需要在系統(tǒng)維護(hù)期間定期更換。

 

　　工藝流程：

　　1、預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點(diǎn)；

　　2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)；

　　3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)；

　　4、預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn)

　　水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí)）

　　超純水系統(tǒng)反滲透法超純水制造技術(shù)：

　　滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑通過(guò)反滲透膜而分離出來(lái)，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進(jìn)行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對(duì)象是溶液中的離子范圍。